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對電池片進(jìn)行電致發(fā)光EL測試，如下圖3和4所示。其黑心和黑斑現(xiàn)象如組件EL測試所見。


光照條件電池電性能測試如表1 所示。

表1 光照條件電池電性能測試



兩片電池效率分別為11.06%和13.99%，Isc 分別為4.73A 和4.62A，均明顯偏低；而此類正常電池片效率一般為17.5%左右，Isc 為5.3A 左右。

電池光誘導(dǎo)電流密度（LBIC Current）測試如圖5 和6 所示。

然后，電池經(jīng)過去SiN 膜、去正反電極、去鋁背場和n 型層，再經(jīng)碘酒鈍化后，硅片少子壽命測試如圖7 和8 所示。


硅片少子壽命測試與電池光誘導(dǎo)電流密度（LBIC Current）測試和電池EL 測試具有很好的對應(yīng)關(guān)系，說明造成電池效率低的原因?yàn)楣杵旧韮?nèi)部缺陷所致，與電池工藝沒有直接關(guān)系。

對硅片進(jìn)行化學(xué)拋光和Wright 液腐蝕，樣片2 呈現(xiàn)出明顯的與EL 測試、電流密度（LBIC Current）測試和少子壽命測試相對應(yīng)的圖案形貌，如圖9 所示。


樣片1 的光學(xué)顯微觀察如圖10 和11 所示，局部區(qū)域具有很高的位錯(cuò)密度達(dá)10E5~10E6 左右。樣片2 的光學(xué)顯微觀察如圖12 和13 所示，在如圖9 所示的中心圓形圖案形貌內(nèi)，其位錯(cuò)密度均高達(dá)10E6~10E7 左右。黑斑邊緣區(qū)域位錯(cuò)密度>106 個(gè)/cm2 均為無位錯(cuò)單晶要求1000～10000 倍，這是相當(dāng)大的位錯(cuò)密度。