3.2 導(dǎo)輪
導(dǎo)輪是硅片切割的重要載體,其涂層為聚氨酯材料,當(dāng)使用一段時(shí)間之后,導(dǎo)輪槽會(huì)發(fā)生磨損,槽深變深,槽的根部直徑也會(huì)變大,與鋼線直徑不能完全吻合,因此在切割過(guò)程中,鋼線在槽內(nèi)會(huì)來(lái)回?cái)[動(dòng),導(dǎo)致鋼線間距不均勻變化;若槽壁磨損嚴(yán)重,則會(huì)造成鋼線跳出原來(lái)的線槽到另外的線槽中,導(dǎo)致切斜。此時(shí),應(yīng)將導(dǎo)輪換下,使用新導(dǎo)輪。另一方面,每次切割結(jié)束后,會(huì)有部分碳化硅和其它物質(zhì)沉積在導(dǎo)輪槽內(nèi),若不及時(shí)清理,會(huì)造成各導(dǎo)輪槽深淺不一,線網(wǎng)容易出現(xiàn)高低線,同時(shí)會(huì)加劇導(dǎo)輪槽的磨損。為減小對(duì)導(dǎo)輪的磨損,每次切割結(jié)束后,使用銅刷刷導(dǎo)輪,將導(dǎo)輪槽內(nèi)的碳化硅進(jìn)行清理,然后通過(guò)氣槍使用壓縮空氣將導(dǎo)輪槽吹干凈,減少導(dǎo)輪槽內(nèi)碳化硅顆粒和其它物質(zhì)的沉積。
3.3 砂漿內(nèi)有雜物
在硅片切割過(guò)程中,不可避免會(huì)有碎導(dǎo)向條、碎片等雜物掉落到機(jī)床切割室內(nèi),若砂漿過(guò)濾裝置如切割室過(guò)濾網(wǎng)、漿料缸過(guò)濾桶等過(guò)濾不徹底,雜物會(huì)混入砂漿中流入漿料缸,容易堵塞熱交換器或漿料嘴。熱交換器堵塞,會(huì)導(dǎo)致機(jī)床不斷報(bào)警,同時(shí)砂漿流量達(dá)不到設(shè)定要求,而漿料嘴堵塞則會(huì)造成斷流,這都會(huì)造成切割能力不足進(jìn)而導(dǎo)致切斜??刹扇〉拇胧┦潜WC過(guò)濾網(wǎng)、過(guò)濾桶等過(guò)濾裝置完好無(wú)損,同時(shí)可在過(guò)濾桶內(nèi)安裝過(guò)濾袋實(shí)現(xiàn)二次過(guò)濾以進(jìn)一步提高砂漿質(zhì)量,每切割完一鋸硅片更換一個(gè)新的過(guò)濾袋。此外,在切割過(guò)程中,由于鋼線的磨損會(huì)產(chǎn)生大量鐵粉混入砂漿中,切割完的砂漿進(jìn)行回收的過(guò)程中,此部分鐵粉不能被有效分離出來(lái),為此,可在過(guò)濾袋內(nèi)放置一根大小合適的磁棒用來(lái)吸鐵粉,降低砂漿中的鐵粉含量。
3.4 鋼線張力
鋼線張力是硅片切割工藝的核心要素,直接影響鋼線的擺動(dòng)情況,進(jìn)而影響鋼線之間的間距及線網(wǎng)的平整度。切割過(guò)程中,收線軸和放線軸的鋼線都要保持在一定的張力范圍內(nèi),一般0.12mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為21N-24N,收線軸張力設(shè)定范圍為21-24N;0.13mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為22N-25N,放線軸張力設(shè)定范圍為21-24N。張力過(guò)大或過(guò)小都不利于懸浮在鋼線上的碳化硅顆粒進(jìn)入鋸縫進(jìn)行切割。鋼線張力正常波動(dòng)范圍為±1N。
4 小結(jié)
通過(guò)從砂漿、導(dǎo)輪、雜物、鋼線張力方面對(duì)影響晶棒切斜的原因進(jìn)行分析,可以有效避免切斜情況的出現(xiàn),對(duì)提高硅片合格率、降低硅片加工成本有重要的意義。目前硅片依然是晶體硅
光伏發(fā)電中成本最昂貴的部分之一。因此,減少硅料消耗,提高晶棒的切割質(zhì)量,是當(dāng)前降低硅片切割生產(chǎn)成本的目標(biāo)。