摘要:在太陽能硅片切割過程中,常常會出現(xiàn)晶棒切斜的情況,切斜會導致產(chǎn)生厚度偏差片、鋸痕不合格片或TTV超差片,從而影響硅片合格率。本文主要對晶棒切斜的原因進行了分析,以降低切斜情況的發(fā)生,提高硅片合格率。
1 引言
現(xiàn)代光伏行業(yè)切割硅片的設備是線鋸,它的工作核心是在漿料配合下用于完成工作的鋼線。硅片切割過程是由鋼線和砂漿共同完成的。線網(wǎng)呈1000條相互平行的纏繞在導線輪上形成一個水平的平面。馬達帶動線導線輪使整個切割線網(wǎng)高速旋轉(zhuǎn)。
硅塊被固定于工作臺上,每次可以切割4—8塊。工作臺垂直通過運動的鋼線組成的線網(wǎng),使硅塊被切割成硅片。
鋼線通過切割室內(nèi)的導輪,在導輪的溝槽內(nèi)纏繞成平行的線網(wǎng),電機驅(qū)動導輪轉(zhuǎn)動,從而帶動鋼線高速轉(zhuǎn)動。此過程中,砂漿會通過漿料嘴流到線網(wǎng)上面,由于砂漿具有一定的粘度和懸浮性,使得砂漿中的碳化硅顆粒包裹在鋼線表面,伴隨著鋼線的運行,與硅塊產(chǎn)生摩擦起到切割作用。
2 晶棒切斜
正常情況下在切割過程中,導輪槽內(nèi)高速轉(zhuǎn)動的鋼線會保持互相平行且鋼線間距相同,若鋼線受力的作用發(fā)生位錯,擺動異常,鋼線間距不均勻,則該位置的晶棒會出現(xiàn)切斜。切斜導致產(chǎn)生大量厚度偏差片、鋸痕不合格片或TTV超差片,硅片本身厚度有一定的標準浮動范圍,一般來說對于厚度為180μm的硅片,其偏差范圍為±20μm,超過此范圍則成為薄厚片,薄厚片的產(chǎn)生會影響硅片的合格率及電池片的生產(chǎn)工藝。