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3 薄厚片原因分析

薄厚片可分為兩大類：（1）TV（Thickness Variation 厚度偏差），主要指硅片與硅片之間相同位置之間的厚度偏差，通常存在于同一鋸硅片中。（2）TTV（TotalThickness Variation整體厚度偏差），指同一片硅片上最厚位置與最薄位置之間的偏差。薄厚片根據(jù)其在硅片內(nèi)的分布位置可以分為四類：整片薄厚（TV）；入刀點(diǎn)薄厚（TTV）；硅片中部至出刀點(diǎn)薄厚（TTV）；單片薄厚不均（TTV）。其產(chǎn)生原因分析如下：

(1)整片薄厚：a.導(dǎo)輪槽距不均勻。硅片厚度=槽距-鋼線直徑-4倍的（碳化硅）D50，根據(jù)所需的硅片厚度要求，可以計(jì)算出最佳槽距。此外由于在切割過程中，鋼線會(huì)磨損，鋼線直徑變小，且端口由圓形變?yōu)闄E圓形，因此導(dǎo)輪槽距需要根據(jù)線損情況進(jìn)行補(bǔ)償，以保證硅片厚度均勻。

b.切割前未設(shè)好零點(diǎn)。正確設(shè)置零點(diǎn)的方法是（以HCT機(jī)床為例）：將晶棒裝載入機(jī)床后，手動(dòng)降工作臺(tái)使四條晶棒的導(dǎo)向條剛剛接觸線網(wǎng)并點(diǎn)擊觸摸屏主界面設(shè)零點(diǎn)按鈕，然后慢速將工作臺(tái)升至 -1.5mm 位置真正設(shè)零點(diǎn)并命名切割編號(hào)。如果零點(diǎn)位置設(shè)置不當(dāng)，導(dǎo)向條接觸到線網(wǎng)，則在切割開始后鋼線由于受摩擦力作用張力不穩(wěn)，導(dǎo)致從入刀開始即產(chǎn)生整片薄厚。

c.導(dǎo)向條與硅塊之間留有縫隙，切割開始后，隨著鋼線的運(yùn)行，部分碎導(dǎo)向條被帶入線網(wǎng)，鋼線錯(cuò)位，由于鋼線在切割過程中會(huì)瞬間定位，這樣就造成硅片整片薄厚的現(xiàn)象。

d.導(dǎo)輪槽磨損嚴(yán)重。導(dǎo)輪涂層為聚氨酯材料，切割一定刀數(shù)后導(dǎo)輪槽根部磨損嚴(yán)重，導(dǎo)輪槽切偏，切割過程中鋼線在導(dǎo)輪槽內(nèi)由于左右晃動(dòng)導(dǎo)致產(chǎn)生整片薄厚。

解決措施：a.導(dǎo)輪開槽后檢查槽距是否均勻，且要根據(jù)線損情況對(duì)導(dǎo)輪槽距進(jìn)行補(bǔ)償。

a.設(shè)置零點(diǎn)時(shí)，控制好導(dǎo)向條距離線網(wǎng)的位置。

b.規(guī)范粘膠操作。硅塊表面粘接導(dǎo)向條時(shí)，注意檢查導(dǎo)向條是否彎曲，膠水是否涂抹均勻，保證粘接導(dǎo)向條后導(dǎo)向條與硅塊之間不能有縫隙。

c.導(dǎo)輪使用過程中，定期使用光學(xué)投影輪廓儀對(duì)導(dǎo)輪槽進(jìn)行檢測(cè)，觀察導(dǎo)輪槽深、角度，發(fā)現(xiàn)導(dǎo)輪槽磨損嚴(yán)重時(shí)則及時(shí)更換導(dǎo)輪。