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 長三角一體化發(fā)展，龍泉邁出新步伐。1月7日，總投資超5億元的大面積平板PECVD高端裝備項目在上海市松江區(qū)的上海—龍泉“飛地”首次投入運行，標志著未來已來科技集團填補了我國大面積非晶硅高端制造裝備領域的空白，打破了國外同類產(chǎn)品長期壟斷的局面，對加快我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有里程碑式的意義。

在項目放電運行現(xiàn)場，未來已來科技集團負責人馬玉軍向大家介紹了項目相關情況。據(jù)了解，該集團研發(fā)的團簇型PECVD高端裝備廣泛應用于芯片制造、OLED柔性屏、高效光伏電池、高精雷達、激光武器等泛半導體產(chǎn)業(yè)，此前我國只能采取進口方式購買此類設備。在中美貿(mào)易摩擦大背景下，美方嚴格管制出口中國關鍵半導體設備，集團歷經(jīng)上千個日夜攻堅克難，完全掌握了團簇型PECVD高端裝備的核心技術和知識產(chǎn)權，項目投產(chǎn)后將有助于我國半導體產(chǎn)業(yè)的轉型升級。

近年來，我市攜手發(fā)達地區(qū)協(xié)作區(qū)域發(fā)展“飛地經(jīng)濟”，實現(xiàn)跨區(qū)域資源的互補互換。大面積平板PECVD高端裝備項目運行后，將按照“研發(fā)在滬、生產(chǎn)在龍、總部在龍”的定位，利用上海的人才優(yōu)勢和平臺優(yōu)勢，發(fā)揮浙江龍泉經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的土地空間優(yōu)勢和扶持政策優(yōu)勢，加快在龍泉實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，帶動我市高端制造產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大。