單晶硅爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備,亦被稱作單晶硅生長爐。單晶硅爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如120、150等型號是由投料量決定,85爐則是指主爐筒的直徑大小。單晶硅爐的主體構(gòu)成由主機(jī)、加熱電源和計算機(jī)控制系統(tǒng)三大部分組成。
隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,作為光伏材料的單晶硅需求也逐漸加大,單晶硅爐的價值也愈加彰顯出來。國內(nèi)外各大廠商也不斷的進(jìn)行自主研發(fā)和技術(shù)革新,以求生產(chǎn)更優(yōu)質(zhì)的單晶硅爐成品,順應(yīng)光伏市場的原料需求?;仡櫷陠尉Ч锠t的先進(jìn)產(chǎn)品,那么近期國內(nèi)外又有那些企業(yè)與產(chǎn)品值得推薦?依照2014年6月單晶硅爐研發(fā)狀況,為大家盤點出近期7家單晶硅爐生產(chǎn)商以及先進(jìn)產(chǎn)品,以饗讀者。
NO.1晶盛機(jī)電
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號:TDR130A-ZJS/γ 商業(yè)機(jī)型
投料量:300kg/不明
規(guī)格:12~16英寸/18 英寸
階段:小批量生產(chǎn)/研發(fā)階段
晶盛機(jī)電全稱為上虞晶盛機(jī)電工程有限公司,總部在江蘇省,是一家專業(yè)制造半導(dǎo)體材料設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)?,F(xiàn)已經(jīng)成功研制出目前國內(nèi)唯一具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的全自動單晶爐,在此領(lǐng)域已擁有十一項國家專利且于2008年通過了ISO9001:2000體系認(rèn)證,現(xiàn)已開發(fā)出了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的ZJS系列。
NO.2京運通
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號:JD-1100
投料量170kg
規(guī)格:10英寸
階段:處于研發(fā)升級階段
京運通全稱為北京京運通科技股份有限公司,是一家以光伏設(shè)備制造業(yè)務(wù)為核心、光伏設(shè)備與晶體硅生長和晶片業(yè)務(wù)互補發(fā)展的高新技術(shù)企業(yè)。主導(dǎo)產(chǎn)品包括單晶硅生長爐和多晶硅鑄錠爐等光伏設(shè)備以及硅棒、硅錠和硅片等光伏產(chǎn)品。
NO.3天龍光電
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號: DRF-95B
投料量:120~150kg
規(guī)格:8~10 英寸
階段:現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。
天龍光電全稱為江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司,成立于2001年12月,是一家專業(yè)光伏設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)。主營業(yè)務(wù)為太陽能電池 硅材料生產(chǎn)與加工設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,經(jīng)營產(chǎn)品包括單晶硅生長爐、單晶硅切斷機(jī)和單晶硅切方滾磨機(jī)等光伏設(shè)備,覆蓋了人工晶體生長和加工的多個工序范圍。
NO.4七星電子
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號:HG9001
投料量為90kg
規(guī)格:6~8 英寸
階段:現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。
七星電子全稱為北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司,已有五十多年電子裝備及元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)驗,于2001年9月成立。公司坐落于中關(guān)村高科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)“電子城科技園”,是一家以集成電路制造工藝技術(shù)為核心,以大規(guī)模集成電路制造設(shè)備、混合集成電路和電子元件為主營業(yè)務(wù),集研發(fā),生產(chǎn),銷售及服務(wù)于一體的大型綜合性高科技公司。
NO.5德國PVA TePla AG 公司
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號:EKZ3500
投料量為200kg
規(guī)格:12 英寸
階段:現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。
德國PVA TePla AG專業(yè)提供用于太陽能電池硅片生產(chǎn)用的多晶硅鑄錠爐,單爐裝料量為250公斤或400公斤(JUMB0 SIZE)。另外PVATEPLA公司還通過其子公司著名的德國CGS公司以及丹麥普發(fā)拓普公司分別提供用于太陽能以及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)用的單晶提拉爐以及區(qū)熔爐?!?br />
NO.6美國Kayex 公司
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號: Vision300
投料量為300kg
規(guī)格:12~16 英寸
階段:現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。
KAYEX公司是目前世界上最大,最先進(jìn)的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初就進(jìn)入中國市場,已成為中國半導(dǎo)體行業(yè)使用最多的品牌。該公司生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計算機(jī)實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
NO.7日本Ferrotec 公司
【先進(jìn)產(chǎn)品】
型號:FT-CZ2408BZ
投料量150kg,
規(guī)格:8 英寸,
階段:現(xiàn)已實現(xiàn)量產(chǎn)。
Ferrotec是具有多元化技術(shù)的跨國集團(tuán),在中國分別設(shè)立鹽城和上海兩個據(jù)點。在諸如終端產(chǎn)品、制造設(shè)備和很多行業(yè)中,F(xiàn)errotec都有出眾的市場表現(xiàn)。以磁性流體技術(shù)和磁流體密封技術(shù)為基石,F(xiàn)errotec不斷探索新的技術(shù)領(lǐng)域。主要產(chǎn)品包括金剛石刀具,單晶爐,多晶爐,硬質(zhì)合金鋸片,石墨制品等等。