編者按:太陽能電池在經(jīng)歷了二十年的風(fēng)雨之后,價(jià)格成本一直在走低,這歸其本質(zhì)而言就是革新,這其中很重要的技術(shù)就是切片。
縱觀中國光伏產(chǎn)業(yè)走過的這二十年里,太陽能電池的價(jià)格一年比一年低,成本下降的同時(shí)本質(zhì)是技術(shù)和產(chǎn)業(yè)鏈的革新,而這其中的一代功臣就是切片技術(shù)。眾所周知,硅料的提純是一個(gè)高耗能和高工藝水平的一道工序,也直接是硅片價(jià)格不能夠一降再降的根本原因。在太陽能電池片發(fā)展的這十幾年里,硅片的厚度一降再降,直接大幅度的拉低了太陽能電池的基礎(chǔ)成本價(jià)格,為這個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)鏈做出了突出貢獻(xiàn),接下來就讓我們認(rèn)識(shí)一下切片工序到底是怎么進(jìn)行的。
一、切片的原理
線切割是通過使用一條高速運(yùn)行的金屬線攜帶砂漿,把硅塊切割成薄片的。系統(tǒng)中,金屬線纏繞一組導(dǎo)輪形成一個(gè)切割線網(wǎng)。硅塊被頂起推在金屬線網(wǎng)上,同時(shí)金屬線網(wǎng)向一個(gè)方向(單線切割)或來回(雙向切割)運(yùn)動(dòng)。SiC主要用于切割,切割液用于懸浮,鋼線用于承載。
二、三大輔料
1.剛線
鋼線是線切割中的重要耗材之一,鋼線在拉制過程中表面都會(huì)鍍上一層很薄的銅,因此新鋼線都是呈金黃色,鋼線的密度為7.8kg/L,鋼線的主要參數(shù)為鋼線直徑、鋼線長度、拉伸強(qiáng)度、破斷力、伸縮率等。
在多線切割加工過程中,鋼線作為實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒切割磨削的載體,通過高速運(yùn)動(dòng),保證SIC磨料達(dá)到切削去除硅材料的基本能量,SIC磨料在研磨去除中受到鋼線壓力,此壓力來源于不斷的進(jìn)給運(yùn)動(dòng),由于鋼線的高速運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)磨料在鋼絲和晶棒之間運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)硅晶材料的切除,在此運(yùn)動(dòng)過程中,鋼絲和被去除的硅材料相互都具有磨損,然而鋼線由于不斷更新,磨損過的鋼絲不再使用,而對(duì)于被切割的晶棒破損不斷的進(jìn)行,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅晶棒的切削成片。
鋼線由于高壓和強(qiáng)烈的摩擦,以及摩擦帶來高溫,碳化硅微粒的運(yùn)動(dòng)切割以及大的拉力和循環(huán)往復(fù)運(yùn)動(dòng)使鋼線產(chǎn)生拉斷和疲勞斷裂,降低了鋼線的使用壽命。
硅片切割中通常關(guān)注鋼線兩個(gè)參數(shù):1、橢圓度 2、磨損量
2. 碳化硅
碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產(chǎn)綠色碳化硅時(shí)需要加食鹽)等原料在電阻爐內(nèi)經(jīng)高溫冶煉而成。碳化硅的原子排列結(jié)構(gòu)有如類似金剛石的正四面體結(jié)構(gòu),具有非常高的穩(wěn)定性,硬度很大,具有優(yōu)良的導(dǎo)熱和導(dǎo)電性能,高溫時(shí)能抗氧化,因而成為優(yōu)良的多線切割用磨料。
影響切割的碳化硅的主要特性:粒度、粒度分布、粒形和韌性,
粒度:在切割磨料中,粒度是決定硅片厚度的主要因素之一;
切割刀縫=鋼線Ф+3.5X粒度(D50);
切割的效率隨著粒度的變小而降低,F(xiàn)2000以下的粒度的切割率急劇下降;
雖然大顆粒切割較快,但是它會(huì)引起表面損傷,深的線痕和高的表面粗糙度;也表現(xiàn)更高的TTV和切損,可以理解為由大粒度的高刻劃力引起的。
粒度分布:在硅片切割中,窄范圍的粒度分布是必需的,比較寬的粒度分布把對(duì)切削液的粘度提高到一個(gè)不可接受的極限。含有大顆粒的碳化硅將帶來高的TTV和切損,而超細(xì)顆粒的碳化硅存在提高了粘度,帶來高的切損、高的曲度和產(chǎn)生大塊的擦傷。所以,多線切割機(jī)的碳化硅,粒度必須比較窄,而且細(xì)粒和粗粒都應(yīng)該盡可能的少。
碳化硅的?,F(xiàn):硅片切割用的碳化硅應(yīng)該是接近球狀,但是有很多棱角的。這些凸起的棱角相當(dāng)于刀刃,這種形態(tài)可以用圓形度來表述。碳化硅在循環(huán)使用后(包括在線回收和離線),減少了棱角,減低了切割能力;切割硅片表面會(huì)越來越粗糙,導(dǎo)致比較高的TTV、線痕等異常。
顆粒韌性:好的碳化硅塊料決定了碳化硅微粉的韌性、硬度,在在參與切割過程的的破損率越低,消耗越小;
3. 切割液
太陽能級(jí)切割液是聚乙二醇(PEG)和復(fù)配組分混合而成,目前PEG仍是多線切割用切割液的主要成分。聚乙二醇(PEG)為低毒無刺激性聚合物,是由環(huán)氧乙烷與水或乙二醇為原料通過逐步加成反應(yīng)而生成,其原材料主要來源于石油制品。
PEG主要性能:無毒、無刺激性,具有良好的水溶性,并與許多有機(jī)物組份有良好的相溶性。具有優(yōu)良的潤滑性、保濕性、分散性、粘接劑、抗靜電劑及柔軟劑等。用于硅片切割的切割液中聚乙二醇(PEG)的平均分子量通常為200-400,這一級(jí)別的PEG具有適宜的粘度指標(biāo),既有良好的流動(dòng)性,又對(duì)碳化硅微粉具有良好的分散穩(wěn)定性能,帶砂能力強(qiáng)。
液體的密度:由于承載磨料的液體密度越大,其與磨料顆粒的混合性能就越強(qiáng),所以在選擇砂漿的主要液體時(shí),主要選擇液體密度高于1.0g/cm3的液體。
液體的揮發(fā)性:在線切割工藝中,切割瞬間散發(fā)出的熱量較大,如果液體的沸點(diǎn)較低(或揮發(fā)度較高),則切割過程損耗較大,需要不斷補(bǔ)充液體,難以保證切割出的產(chǎn)品質(zhì)量。
液體的粘度:砂漿中液體必須具有高于水的粘度,這既可以保證磨料微粉的懸浮效果、又可以保證液體在線鋸上的適度附著,增強(qiáng)砂漿的熱傳導(dǎo)效率。
表面張力:液體的表面張力越低,在固體表面的鋪展性越好。這一性能決定了砂漿在線鋸及硅晶體表面的附著量。
切割液粘度與溫度的關(guān)系:液體的粘度來自分子引力,溫度升高,分子間的距離加大,分子引力減小,內(nèi)摩擦減弱,粘度就降低。溫度在17~30℃變化時(shí),砂漿粘度隨溫度的變化呈線性關(guān)系。可近似認(rèn)為降溫時(shí),每降低1 ℃,砂漿粘度提高10.0mpa.s;升溫時(shí),每升高1 ℃,砂漿粘度降低10.5mpa.s。
水分對(duì)切割液(砂漿)的影響:如果砂漿里面混入了水分, 水分子為強(qiáng)極性分子,H2O更容易和PEG之間形成氫鍵,在PEG量一定的情況下,如果氫鍵部分被H2O占據(jù),那么SiC吸附的量就減小了,引起砂子懸浮能力不足而大量沉降,從而影響切割過程中的穩(wěn)定性和硅片的質(zhì)量,因而如何防止水進(jìn)入砂漿成為總多切片企業(yè)的關(guān)鍵控制點(diǎn)。
原標(biāo)題:太陽能電池片科普系列—切片篇