羅姆在PCIM Europe 2014并設(shè)的會(huì)議上,發(fā)表演講介紹了耐壓為1200V的溝道型SiC MOSFET的情況,除了這種MOSFET的特點(diǎn)以外,還公布了實(shí)用化時(shí)間,計(jì)劃從2014年秋季開(kāi)始陸續(xù)樣品供貨。該公司此前已經(jīng)投產(chǎn)了平面型SiC MOSFET,此次是首次投產(chǎn)溝道型SiC MOSFET。即使在功率元件行業(yè),估計(jì)這也是首次實(shí)現(xiàn)溝道型SiC MOSFET的實(shí)用化。
溝道型SiC MOSFET的優(yōu)點(diǎn)是,與原來(lái)的平面型相比可輕松降低導(dǎo)通電阻。由此,在獲得相同的電流容量時(shí),與平面型相比,溝道型需要的芯片面積更小。如果可以減小芯片面積,那么一片SiC晶圓能夠獲得的芯片數(shù)量就會(huì)增加,因此能提高生產(chǎn)效率,有助于削減成本。
由于具有這樣的優(yōu)點(diǎn),各大半導(dǎo)體廠商都在積極研發(fā)溝道型SiC MOSFET。其中,羅姆的特點(diǎn)是采用了不僅在柵極、在源極也設(shè)有溝道的“雙溝道型”。與只在柵極設(shè)有溝道的普通溝道型SiC MOSFET相比,雙溝道型SiC MOSFET可以緩和電場(chǎng)集中現(xiàn)象、不容易破壞柵極氧化膜。據(jù)羅姆介紹,采用雙溝道型后,單位長(zhǎng)度的電場(chǎng)強(qiáng)度(單位為MV/cm)可以減弱35%左右。
羅姆還特別強(qiáng)調(diào)了可削減電容成分這個(gè)特點(diǎn)。據(jù)介紹,與耐壓為1200V、導(dǎo)通電阻為80mΩ的羅姆平面型SiC MOSFET產(chǎn)品相比,相同耐壓和相同導(dǎo)通電阻的溝道型MOSFET可將輸入電容Ciss降低約70%。耐壓為1200V、導(dǎo)通電阻為40mΩ的溝道型SiC MOSFET的輸入電容則比平面型SiC MOSFET產(chǎn)品降低約35%。
在演講中,羅姆著重宣傳了溝道型SiC MOSFET的高可靠性。比如,在柵極氧化膜的可靠性指標(biāo)“HTGB”中,可加載的柵極電壓范圍很大。羅姆以前的平面型SiC MOSFET為-6~+22V,而溝道型SiC MOSFET則擴(kuò)大至-10~+22V。
羅姆還強(qiáng)調(diào)了溝道型SiC MOSFET在高溫多濕環(huán)境下的可靠性。比如,在環(huán)境溫度為+85℃、濕度為85%的環(huán)境下,即使向漏極與源極之間加載1000個(gè)小時(shí)的960V電壓,也就是1200V額定電壓的80%,溝道型SiC MOSFET也能正常工作。羅姆表示,設(shè)置在室外的光伏逆變器等對(duì)高溫多濕環(huán)境下的可靠性要求非常高。其中,設(shè)置在寒冷地區(qū)湖邊的逆變器對(duì)防結(jié)露性的要求很高、設(shè)置在東南亞的逆變器則對(duì)耐高溫高濕的要求非常高。
羅姆將推出的產(chǎn)品主要分為耐壓1200V和650V兩種,備有電流容量(導(dǎo)通電阻)不同的多款產(chǎn)品,將從2014年秋季開(kāi)始陸續(xù)提供樣品。這些產(chǎn)品均采用TO247封裝。