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來自中國、澳大利亞和新加坡的研究人員最近宣布：他們采用管式工業(yè)等離子體輔助原子層沉積法（PEALD），實現(xiàn)了以60片電池制成TOPCon組件，該組件最大轉(zhuǎn)化效率22.8%、功率613W。

題為《新型工業(yè)管式PEALD技術(shù)實現(xiàn)隧穿氧化物原子尺寸受控，商用TOPCon電池效率>24%》的研究發(fā)表在《光伏進展》雜志上。

來自中國南通大學(xué)、新加坡材料研究與工程研究所以及澳大利亞新南威爾士大學(xué)的科學(xué)家、中國太陽能電池制造商通威以及某知名中國組件制造商合作進行了這項實驗。

科學(xué)家們聲稱，等離子體輔助原子層沉積技術(shù)有可能以更低的成本、更高的產(chǎn)量獲得質(zhì)量更優(yōu)的致密隧穿氧化硅（SIOx）薄膜。

科學(xué)家們使用G1 N型硅片開發(fā)電池(厚度170 μm，表面積440.96平方厘米)，所有的薄膜都沉積在此電池上，而電池中的薄膜最初在200攝氏度下受熱25秒。

團隊使用了強化等離子體化學(xué)氣相沉積法，設(shè)計了原位摻雜多晶硅（n+）層，并在晶硅（Si）或SiOx或多晶硅（n+）界面處，沉積約1.3nm、均勻的超薄氧化硅層。

在整個過程中，科學(xué)家們將隧穿氧化層厚度保持在2.4 Å，說明原子層面控制隧穿氧化層厚度對TOPCon太陽能電池的重要性。

實驗產(chǎn)生了2.8 fA/cm2的極低復(fù)合電流密度和高達759 mV的隱含開路電壓。

在標(biāo)準(zhǔn)照明條件下的直射陽光測試時，這種工業(yè)用TOPCon太陽能電池的效率和開路電壓分別高達24.2%和710 mV。

研究人員聲稱，PEALD還可以大規(guī)模生產(chǎn)TOPCon太陽能電池，并且提高電池轉(zhuǎn)化效率。

在過去十年中，研究人員一直在致力于開發(fā)原子層沉積方法，這是一種可用于設(shè)計和研究電子設(shè)備的納米級制造技術(shù)。

物聯(lián)網(wǎng)（IoT）和量子計算等新興技術(shù)創(chuàng)新也為等離子體輔助原子層沉積法創(chuàng)造了空間，這種方法能夠?qū)崿F(xiàn)區(qū)域選擇性沉積、二維材料的受控生長以及原子層蝕刻。

9月，弗勞恩霍夫太陽能系統(tǒng)研究所對開發(fā)一條硅太陽能電池創(chuàng)新生產(chǎn)線進行了概念驗證，該生產(chǎn)線產(chǎn)能為每小時15000-20000片，比常規(guī)的高出一倍。該研究所由工廠制造商、氣象公司和研究機構(gòu)聯(lián)合組成。

全球正在大力加速推進對各種太陽能電池技術(shù)的研究，重點在于提升效率。

今年4月，美國能源部宣布啟動碲化鎘（CdTe）加速器聯(lián)盟，這一計劃價值2000萬美元，旨在迅速降低碲化鎘光伏技術(shù)的成本，碲化鎘在全球的使用僅次于硅。

原標(biāo)題：22.8%、613W！通威等共研TOPCon技術(shù)，PEALD加持效率提升